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稀薄效应对空气静压导轨速度边界和温度特性的影响
微电子机械系统 | 更新时间:2022-09-22
    • 稀薄效应对空气静压导轨速度边界和温度特性的影响

    • EFFECTS OF RAREFIED GAS FLOW ON VELOCITY BOUNDARY AND TEMPERATURE CHARACTERISTICS OF AEROSTATIC GUIDE WAY

    • 机械强度   2018年40卷第3期 页码:602-606
    • 作者机构:

      1. 昆明理工大学机电工程学院

    • DOI:10.16579/j.issn.1001.9669.2018.03.016    

      中图分类号:

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  • 龙威, 公玲, 杨绍华. 稀薄效应对空气静压导轨速度边界和温度特性的影响[J]. 机械强度, 2018,40(3):602-606. DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2018.03.016.

    LONG Wei, GONG Ling, YANG ShaoHua. EFFECTS OF RAREFIED GAS FLOW ON VELOCITY BOUNDARY AND TEMPERATURE CHARACTERISTICS OF AEROSTATIC GUIDE WAY[J]. 2018,40(3):602-606. DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2018.03.016.

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