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贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响
微电子机械系统 | 更新时间:2022-09-22
    • 贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响

    • EFFECT OF DIE ADHESIVE ON THE PERFORMANCE OF HIGH-G MEMS ACCELEROMETER

    • 机械强度   2018年40卷第1期 页码:83-87
    • 作者机构:

      1. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

      2. 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室

    • DOI:10.16579/j.issn.1001.9669.2018.01.015    

      中图分类号:

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  • 郭惠玉, 文丰, 康强, 等. 贴片胶对高量程MEMS加速度传感器性能的影响[J]. 机械强度, 2018,40(1):83-87. DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2018.01.015.

    GUO HuiYu, WEN Feng, KANG Qiang, et al. EFFECT OF DIE ADHESIVE ON THE PERFORMANCE OF HIGH-G MEMS ACCELEROMETER[J]. 2018,40(1):83-87. DOI: 10.16579/j.issn.1001.9669.2018.01.015.

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